财政部关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的通知（财税[2002]152号）-海关律师网

财政部关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的通知（财税[2002]152号）

发布时间：2002-06-24 06:00:00 来源：浏览：3107次

财政部关于部分集成电路生产企业进口
　净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的通知
　（2002年9月26日　财税[2002]152号）

海关总署，信息产业部：
　　经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件的税收政策通知如下：
　　一、自2001年1月1日起，对在中国境内设立的投资额超过80亿元或集成电路线宽小于0．25微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件，免征关税和进口环节增值税。
　　二、符合免税条件的集成电路生产企业名单由国家计委审核确定并通知海关总署，同时抄送财政部。海关对上述企业进口的净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件按照本通知附件所列商品目录办理免税手续，并做好后续监管工作。
　　三、附件2所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时，如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。
　　四、附件所列商品目录将适时进行调整，由信息产业部会同国家计委、财政部、海关总署、国家税务总局等有关部门提出意见，报国务院批准后实施。
　　五、海关总署对享受该政策的年度实际进口数量应及时抄送财政部。
　　特此通知。
　　附件：1．部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录
　　　　　2．部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录
附件1：　　　　　部分集成电路生产企业免税进口净化室

　　　　　　　　　　　　专用建筑材料、配套系统商品目录

┌──┬─────────────────┬────────────┬────────────────────────┐
│序号│　　　　　　商品名称　　　　　　　│　　英文名称　　　　　　│　　　　进口原因(技术规格说明)及用途　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 1　│小型无尘室　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 2　│净化厂房(室)钢结构用配套其他无螺　│Shear Studs　　　　　　 │国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│纹紧固件(剪力钉)　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 3　│防火漆　　　　　　　　　　　　　　│Fire Proofing Paint　　 │需FM(factory mutual)认证国内没有生产　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 4　│环氧树脂(需通过FM认证)　　　　　　│Epoxy Zinc Phosphate　　│需FM认证国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Primer，EP66 Paint：　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 5　│表面色涂料(不发尘)／上色漆　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 6　│净化室建材用调制胶及粘合剂(导电胶 │Conductive Floor Tile　 │特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料　　│
│　　│，密封胶，胶水，洁净强力胶，固定　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│胶，洁净细胶)　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 7　│涂布层尘用硬化剂　　　　　　　　　│Hardener for Epoxy　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 8　│有机玻璃板　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产，规　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│格为0．8m～1．2m×0．8m～1．2m　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│ 9　│净化厂房(室)玻璃门及配件　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│10　│净化室气密门窗及框架(钢制品)　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│11　│避震弹簧／避抓弹簧　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│12　│铝合金制门　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│标准、型号产品(规格为0．9m～2．4m×2．2m等)　　 │
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│13　│净化室高架地板(铝合金)　　　　　　│Aluminum Alloy Raised　 │特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Floor／Raised Floor　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│14　│防静电地板(铝合金)　　　　　　　　│Aluminum ESD Floor　　　│特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│15　│铝合金制结构体／铝合金制吊顶结构体│　　　　　　　　　　　　│防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│准、型号产品(规格为2．5m～6m×1．0m～1．2m等)　 │
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│16　│铝合金吊顶龙骨及封盖(净化室悬吊系 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│统)及相关配件　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│17　│铝合金制高架地板(成品)　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│18　│铝合金龙骨　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│标准、型号产品60cm×60cm(误差0．1cm)　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│19　│铝制隔板／铝制面板／铝合金制面板　│　　　　　　　　　　　　│防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术　│
│　　│(成品)　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│标准、型号产品60cm×120cm，90cm×120cm，90cm　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│×75cm，75cm×120cm等　　　　　　　　　　　　　 │
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│20　│净化室隔间板及门　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│21　│铝制隔墙及支撑件　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│22　│铝制连接铰链及螺丝　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│23　│铝制蜂窝板及附件　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│24　│钢制防水板　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│25　│净化室隔间板(钢制品)及其辅件　　　│Clean Room Partition／　│表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Door　　　　　　　　　　│术认定产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│26　│ 净化室隔间板(铝合金)及其辅件　　 │Clean Room Partition／　│表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技　│
│　　│ (厚2〉0．35mm)　　　　　　　　　 │Door　　　　　　　　　　│术认定产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│27　│　净化室隔离板(铝合金)结合组件　　│Hardware(Doors)　　　　 │表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│术认定产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│28　│净化室铝合金及钢材专用备件及相关零│　　　　　　　　　　　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│29　│静电消除器　　　　　　　　　　　　│Ionizer　　　　　　　　 │清除静电　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│30　│有机玻璃制品(成品)　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产　　　│
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│31　│防水卷材　　　　　　　　　　　　　│Water Proofing Menbrane │国内产品目前无验证资料　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│32　│钢制品吊顶龙骨封盖及相关零配件　　│　　　　　　　　　　　　│配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│品目前无验证资料　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│33　│预滚涂铝板　　　　　　　　　　　　│Prepainted　Aluminum　　│为避免大面积立面产生色差　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Panels　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│34　│净化室隔离板结合组件(金属)　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│35　│净化室内自动闭门器　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│36　│净化室高架地板(钢制品)　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│37　│橡胶导电地板　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│38　│抗静电聚氯乙烯(PVC)／玻璃塑料视窗 │Antistatic PVC Plate，　│特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料　　│
│　　│板　　　　　　　　　　　　　　　　│Door／Wall Glazing　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│39　│导电铜箔胶带　　　　　　　　　　　│Copper Tape　　　　　　 │特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料　　│
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│40　│不锈钢安全网　　　　　　　　　　　│SUS Safety Net　　　　　│特殊无尘，国内产品目前无验证资料　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│41　│高架地板下方气密隔板　　　　　　　│Under Raised Floor　　　│配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Divider　　　　　　　　 │品目前无验证资料　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│42　│聚氯乙烯(PVC)导电地砖　　　　　　 │Conductive Floor Tile　 │特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│43　│净化室(无尘室)专用特制防震机座　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│(特殊混凝土不锈钢结构)　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│44　│净化室气密门窗及框架(铝制品)　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│45　│放电灯管　　　　　　　　　　　　　│Tear-Drop Lighting　　　│配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Fixture　　　　　　　　 │验证资料　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│46　│封闭式聚光管灯　　　　　　　　　　│Lighting　　　　　　　　│配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│验证资料　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│47　│其他类型灯　　　　　　　　　　　　│Exil／Direction Lighting│配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Fixture　　　　　　　　 │验证资料　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│48　│紫(红)外线灯管(泡)　　　　　　　　│Surface Mounted Light-　│配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│ing　　　　　　　　　　 │验证资料　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│49　│抗静电强化玻璃　　　　　　　　　　│Anti-Static Tempered　　│国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Glass　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│50　│特氟龙管材连接硅胶　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│51　│无尘防爆型灯具及配件　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│52　│离子发生器　　　　　　　　　　　　│Ionizer　　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│53　│净化室专用特制方针机座(特殊混凝土 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│不锈钢结构)　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│54　│管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│，支撑管垫　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│55　│酸式洗涤器用塑料制零部件／有机存　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│储槽　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│56　│醋酸纤维制过滤膜(无孔，利用分子间 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│隙过滤)　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│57　│塑料制导电地板贴面　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│58　│塑料制电缆护套　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│59　│塑料制风口及其支撑件　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│60　│塑料制龙骨封条　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│61　│特氟龙塑料制风口　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│62　│冷轧不锈钢无缝管(电子抛光不锈钢)　│　　　　　　　　　　　　│无缝，高光洁度，国内无符合技术标准、型号产品　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│316LBA&EP不锈钢管，平均表面粗糙度Ra：BA〈　　　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│10u″，EP〈3″；最大表面粗糙度Rmax：BA〈3um，　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│EP〈0．7um。使用管径1／8″，1／4″，3／8″，　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│1／2″，5／8″，3／4″，15A，25A，40A，50A，　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│65A，80A，100A，125A，200A，250A，300A等　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│63　│冷轧不锈钢无缝管(铁或非合金钢)　　│　　　　　　　　　　　　│无逢，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│64　│冷轧不锈钢无缝管(其他合金钢)　　　│　　　　　　　　　　　　│无缝，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│65　│非冷轧不锈钢无缝管　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│无缝，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│66　│不锈钢焊缝管(成品)　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│67　│不锈钢直管、弯管、连接件　　　　　│　　　　　　　　　　　　│随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│68　│钢制风口及其支撑件和附件　　　　　│　　　　　　　　　　　　│随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│69　│铜管　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│70　│风机盘管　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│冷却用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　│
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│71　│空调箱系统及其零配件，包括空调系　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│统盘管、挡水板、防潮器、连接件　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│72　│冷却盘管(成品)　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│73　│过滤器／高效过滤器／Y型过滤器　　 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│74　│过滤、净化器分配装置及其附件(过滤 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│器用冷盘管)　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
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│75　│酸式洗涤器　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│76　│传感器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│77　│橡胶软管／防震软管　　　　　　　　│Expansion Joint　　　　 │管路伸缩保护用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│78　│钢制软管／防震软管　　　　　　　　│Flexible Pipe Connector │冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│79　│工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱 │General Process Exhaust │国内产品目前无验证资料，国内无符合技术标准、型　│
│　　│废气洗涤)　　　　　　　　　　　　 │Fan　　　　　　　　　　 │号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│80　│溶剂废气处理装置　　　　　　　　　│VOC Abatement Device　　│工艺排气处理，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│(Contain Fan and VFD)　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│81　│温度传感器　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│82　│水及其他蒸汽动力装置的冷凝器　　　│Deaerator　　　　　　　 │厂区供热系统用以除去水中氧气，国内无符合技术标　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│83　│其他辅助设备备用零件　　　　　　　│Steam de-temp．Device　 │厂区供热系统减温用，国内无符合技术标准、型号产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│84　│油泵　　　　　　　　　　　　　　　│Oil Pump　　　　　　　　│冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│85　│电动风门，气动控制风门，防火风门，│Motorized Damper，Pe-　 │空调管道风系统控制用，防火风门(FM)，国内无符　　│
│　　│排气风门　　　　　　　　　　　　　│numatic Damper，Fire　　│合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Damper，Air Damper　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│86　│变风量控制箱及配件　　　　　　　　│VAV Box System　　　　　│办公环境空调用(控制风量0～100％±3％)，国内　　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│87　│不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│88　│不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│(非圆型截面)　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│89　│工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│废气洗涤)　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│90　│真空泵　　　　　　　　　　　　　　│Steam System Pumps　　　│蒸汽系统水力输送用，国内无符合技术标准、型号产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│91　│工艺用真空设备及附件　　　　　　　│Process Vacuum Pump　　 │生产工艺设备用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│& Auxiliary Equip-　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│ments　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│92　│风机　　　　　　　　　　　　　　　│Fan　　　　　　　　　　 │工艺送排气处理(35000～130000 CMH，静压达8″WG)　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│93　│风淋室　　　　　　　　　　　　　　│Air Shower　　　　　　　│生产环境人员洁净控制用，国内无符合技术标准、型　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│94　│冷却塔　　　　　　　　　　　　　　│Cooling Tower　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│95　│冷水机组(冰水主机)　　　　　　　　│Chiller　　　　　　　　 │冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│96　│工艺冷却水系统　　　　　　　　　　│Process Cooling Water　 │提供工艺冷却水给无尘设备用，国内无符合技术标　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│System　　　　　　　　　│准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│97　│防火填塞　　　　　　　　　　　　　│Fire Barrier Sealing　　│冰水系统用防堵性材料，需符合UL／FM认证，国内　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│98　│冷媒(制冷剂)　　　　　　　　　　　│Refrigerant　　　　　　 │冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│99　│热交换装置　　　　　　　　　　　　│Heat Exchanger　　　　　│热能转换，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│100 │保温材料(橡胶，泡棉，玻璃纤维，铝 │Insulation　　　　　　　│管路保温用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│制层)　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│101 │管阀及配件　　　　　　　　　　　　│Valve　　　　　　　　　 │管道流体控制用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│102 │风机过滤器　　　　　　　　　　　　│Fan Filter Unit　　　　 │生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│103 │干盘管(冷却盘管)　　　　　　　　　│Drv Coil　　　　　　　　│生产环境空调用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│104 │高效率过滤网(筛)／超高效率过滤网　│HEPA／ULPA Filter　　　 │0．12um空气过滤器，过滤有效率达到99．9999％，生 │
│　　│(筛)／油过滤网(筛)／充填过滤筛网　│　　　　　　　　　　　　│产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│105 │管道过滤单元(过滤网)　　　　　　　│Filter　　　　　　　　　│冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│106 │水洗台　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│107 │卸货平台　　　　　　　　　　　　　│Docklevelers　　　　　　│承载设备，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│108 │滑升门　　　　　　　　　　　　　　│Sectional Doors　　　　 │承载设备，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│109 │工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│废气洗涤)　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│110 │加湿器及其配件(配管、喷嘴)　　　　│Steam Type Humidifier　 │空调湿度保持，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│111 │消音箱　　　　　　　　　　　　　　│Sound Attenuating Cha-　│生产环境噪音控制，国内无符合技术标准、型号产品　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│mber　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│112 │避震器(管吊架，避震弹簧，电木／橡 │Shock Absorber　　　　　│冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│塑发泡，支撑管垫)　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│113 │自动释气阀　　　　　　　　　　　　│AirVent　　　　　　　　 │管路排气用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│114 │风机过滤器监控装置　　　　　　　　│Fan Filter Units Control│生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│and Monitor　　　　　　 │品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│115 │　控制器　　　　　　　　　　　　　│Actuator　　　　　　　　│控制温湿度稳定(控制精度Temp 22±0．5℃，RH　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│43±3％)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│116 │变风量控制箱及配件　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│117 │疏水器　　　　　　　　　　　　　　│Steam Trap　　　　　　　│管道系统用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│118 │洁净室专用接地电线及配件　　　　　│Clean Room Grounding　　│特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│System　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│119 │空气洗涤器　　　　　　　　　　　　│Air Washer　　　　　　　│国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│120 │不锈钢风门，不锈钢内衬特氟龙风门　│Stainless Steel Damper，│工艺排气管道用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Stainless　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│121 │沸石转轮　　　　　　　　　　　　　│Rotator　　　　　　　　 │环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│122 │燃烧炉　　　　　　　　　　　　　　│Flammable Oven　　　　　│环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│123 │燃烧器　　　　　　　　　　　　　　│Flammable Device　　　　│环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│124 │无尘室用高速洗手干燥机　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│125 │冷冻机组／冷冻蒸发器　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│126 │真空系统(不含微机和外设)　　　　　│House Vacuum System　　 │无尘室洁净用，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│127 │接液盘　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│128 │有载调压开关(高压)　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│129 │电缆终端　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│130 │发电机用零件　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│发电装置，达到电压时间为15秒，国内无法达到多台发│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│电机的群控并联方式，国内无符合技术标准、型号产品│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│131 │空气滤清器　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│空气滤清装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│132 │离合器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│机械耦合装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│133 │逆变器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│134 │充电器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│135 │电瓶组　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│136 │电容器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│用于改善电气设备功率因素，与配电柜一起进口，电压│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│范围300kW～1500kW，国内无符合技术标准、型号产品 │
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│137 │电路的开关，保护或连接用的电气　　│　　　　　　　　　　　　│功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
│　　│装置／断路器　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│138 │避雷器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│电源断开设备，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│139 │保护电驿(保护用继电器)　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│线路保护装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│140 │并联开关盘(电气控制及电力分配的　 │　　　　　　　　　　　　│发电开关装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
│　　│盘，台，柜)／马达控制盘／配电盘　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│141 │马达变频控制器　　　　　　　　　　│Power Panel MCC　　　　 │功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│142 │用于电器控制或电力分配的盘、板、　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│台、柜及其他基座的零件　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│143 │六氟化硫气体及充填装置　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│绝缘用气体，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│144 │感应耦合器　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│储能装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│145 │同步机　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│整流装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│146 │电力系统用电缆及辅料　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│电源用电缆及零料，国内无符合技术标准、型号产品　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│147 │多功能电表　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│功能指示装置，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│148 │滤波器　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│149 │自动功率因素调整器　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│功率因素改善装置，国内无符合技术标准、型号产品　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│150 │自我保护装置(过磁保护电驿，差动保 │Protection System　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│护，接地故障保护瞬动，接地故障延　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│时过流，过电压及低电压保护电驿)　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│151 │二氧化碳喷淋系统(不含微机和外设)　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│152 │有机储存槽　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│153 │塑料制、聚乙烯(PVC)、偏聚二氟乙　 │　　　　　　　　　　　　│高纯度电子级／耐高温，耐强酸碱　　　　　　　　　│
│　　│烯，特氟龙制、聚偏二氟乙烯、透明　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│聚氯乙烯、聚丙烯、连接件管件及其　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│附件；净化室防电击软管　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│154 │设备安装用气体、化学品管子(不锈钢 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│304、316材料)，连接件及配件　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│155 │阀门，控制阀(及其配件)　　　　　　│Valve　　　　　　　　　 │管道冰水控制用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│156 │气体探测头／气体侦测器侦测头　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│157 │石英管推车　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│用于搬运工艺用石英管，附防尘、防震装置，国内无　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│158 │运酸台车　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│用于搬运工艺用酸性材料，附防尘装置，国内无符合　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│159 │桌上型氟离子测量仪　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│160 │离子交换树脂(颗粒状)／交换树脂　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│161 │塑料制／特氟龙制储藏罐　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│储藏高纯度化学品(316低碳不锈钢)国内无符合技　　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│162 │石英管柜　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│163 │盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器　│　　　　　　　　　　　　│采用316低碳不锈钢，国内无符合技术标准、型号产　 │
│　　│(容积〉300升)　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│164 │盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│(容积50升～300升)　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│165 │盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│(容积〈50升)　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│166 │装压缩或液化气的钢铁容器　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│167 │混合机件及其相关配件　　　　　　　│Agitator／Mixer／Fan／　│超细晶片研磨液加水或双氧水后，稀释，搅拌混合装　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Blower and Accessory　　│置。国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│168 │紫外线灯单元模块及其相关配件　　　│UV Unit／Accessory　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│169 │监测仪器及其相关配件　　　　　　　│Analysis　Instruments／ │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Accessory　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│170 │逆渗透单元组及其相关配件　　　　　│Reverse Osmosis(RO)　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Unit／Accessory　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│171 │水系统动力控制单元及其相关配件　　│Power & Control　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Unit／Accessory　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│172 │真空脱气模块及其相关配件　　　　　│Membrane Degasified　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Unit & Accessory　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│173 │超过滤模块及其相关配件　　　　　　│Ultrafitration Unit／Ac-│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│cessory　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│174 │多层过滤塔及其相关配件　　　　　　│Multi Media Fitter／Ac- │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│cessory　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│175 │活性碳过滤塔及其相关配件　　　　　│Active Carbon Filter／　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Accessory　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│176 │文丘利供液装置　　　　　　　　　　│EJector　　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│177 │真空脱气模块　　　　　　　　　　　│Membrane Degasify　　　 │国内无生产／整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Module　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│178 │减速机(不锈钢304材质)　　　　　　 │Reducer　　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│179 │滤心　　　　　　　　　　　　　　　│Fter　　　　　　　　　　│整体系统引进／国内产品目前无验证资料　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│180 │石英砂　　　　　　　　　　　　　　│Sillicon Sand　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│181 │活性碳　　　　　　　　　　　　　　│Active Carbon　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│182 │桶，槽容器(玻璃钢制品)(聚二氟乙烯 │FRP Material　　　　　　│盛装高纯度化学品，防污染，国内无生产，整体系统　│
│　　│衬里)　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│引进　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│183 │密封件(材质丁氰橡胶／聚四氟乙烯／ │Packing(EPDM／PTFE　　　│整体系统引进，国内产品目前无验证资料　　　　　　│
│　　│聚二氟乙烯／不锈钢316／不锈钢304) │／PVDF／SUS316／Viton　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│／SUS304)　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│184 │过滤填充料　　　　　　　　　　　　│Gravel　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│185 │目视玻璃窗　　　　　　　　　　　　│Sight Glass　　　　　　 │采用可绝缘、隔热且具有良好抗静电特殊材质，用于纯│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│水系统的离子交换树脂塔目视窗，国内无符合技术标准│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│186 │桶，槽容器(不锈钢制品)(聚二氟乙烯 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│衬里)　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│187 │空气泵或真空泵，空气及其他气体压　│Blower　　　　　　　　　│整体系统引进，国内产品目前无验证资料　　　　　　│
│　　│缩机，风机及风扇，防爆风车　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│188 │真空泵相关配件　　　　　　　　　　│Accessory　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│189 │过滤器(材质不锈钢304／不锈钢316)　│Filter Housing　　　　　│整体系统引进，国内产品目前无验证资料　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│(SUS304／SUS316)　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│190 │活性碳过滤塔(碳钢／不锈钢316／不　│AC Tower(CS／CS Rubber　│整体系统引进，国内产品目前无验证资料　　　　　　│
│　　│锈钢304，内衬橡胶)　　　　　　　　│Lining／SUS316／SUS304) │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│191 │离子交换树脂塔(碳钢／不锈钢316／　│IonExchange Tower(CS　　│整体系统引进，国内产品目前无验证资料　　　　　　│
│　　│不锈钢304，内衬橡胶)及其相关配件　│Rubber Lining／SUS316　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│／SUS304)　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│192 │超过滤膜及其相关配件　　　　　　　│Accessory　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│193 │监控系统(不含微机和外设)　　　　　│SCADA System　　　　　　│国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│194 │搅拌机　　　　　　　　　　　　　　│Agitator　　　　　　　　│用于化学药品搅拌及废水处理槽搅拌，氟系废弃物处　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│理，以加强处理效果，国内无生产(硬件)，整体系　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│统引进／国内产品目前无验证资料　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│195 │搅拌机相关配件　　　　　　　　　　│Accessory　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│196 │自动溶解泡药装置　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│氧化铝加水成氢氧化铝后沉淀用，国内无符合技术标　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│197 │污泥饼机(压滤机)　　　　　　　　　│Filter Press　　　　　　│用于氟系废弃物处理，氟化钙淤泥脱水使其污泥干燥度│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│达处理水平，国内无生产，国内产品目前无验证资料　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│198 │紫外线杀菌灯单元模块　　　　　　　│TOC UV Unit　　　　　　 │国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│199 │安定器　　　　　　　　　　　　　　│Ballast　　　　　　　　 │紫外线杀菌灯单元模块配套元件(硬件)，国内无符　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│200 │O型环　　　　　　　　　　　　　　 │O Ring　　　　　　　　　│密封圈，材料为橡胶、偏氯二氟乙烯聚二氟乙烯、丁　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│氰橡胶等，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│201 │臭氧产生器　　　　　　　　　　　　│O3(下标) Generator　　　│国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│202 │管路集散器　　　　　　　　　　　　│Distributor　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│203 │减震模块　　　　　　　　　　　　　│Virbaration　　　　　　 │国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│204 │桶槽呼吸单元模块　　　　　　　　　│Breather Unit　　　　　 │国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│205 │液体，气体的测量或检验装置及其　　│Flow Meter(SUS304／　　 │国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
│　　│零配件　　　　　　　　　　　　　　│SUS316，Ultrasonic)　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│206 │气体侦测模块　　　　　　　　　　　│Gas Detector　　　　　　│国内无生产，整体系统引进　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│207 │呼吸器快速接头　　　　　　　　　　│BA Quick Coupling　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│208 │空气室　　　　　　　　　　　　　　│Air Chamber　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│209 │离子交换树脂再生塔不锈钢316／304　│IonExchange Tower(CS　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│，碳钢橡胶内衬　　　　　　　　　　│Rubber　Lining／SUS316／│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│SUS304)　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│210 │人机界面(用于监控系统现场设备)　　│Man Machine-interface　 │监控系统现场设备的连接装置，是一种组态软件，国　│
│　　│软件　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│211 │压缩空气系统干燥机　　　　　　　　│CDA Dryer　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│212 │真空传感器　　　　　　　　　　　　│Vacuum Detector　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│213 │超洁净化学品供应单元　　　　　　　│Supply Unit(N2(下标)　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Pres-sure & Pumping　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Type)　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│214 │超洁净化学品浓度稀释单元　　　　　│Dilution Unit　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│215 │超洁净化学品注入单元　　　　　　　│Charge Unit　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│216 │化学废品收集单元　　　　　　　　　│Waste Collection Unit　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│217 │气体分配箱及阀件　　　　　　　　　│Valve Manifold Box，　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Valve，Regulator，Fil-　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│ter and Pressure Trans- │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│ducer　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│218 │气体监控及侦测防护系统(含监视器、 │Gas Monitoring System　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│光纤、光缆，不含微机和外设)　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│219 │特种气体纯化及监测装置(含监视器、 │Specialty Gas Purifier　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│光纤、光缆)　　　　　　　　　　　 │and Monitor　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│220 │监控系统及可编程控制器(含监视器、 │Monitoring System　　　 │国内无生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│光纤、光缆，不含微机和外设)　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│221 │纯水枪　　　　　　　　　　　　　　│DIW Gun　　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│222 │氮气枪　　　　　　　　　　　　　　│N2(下标) Gun　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│223 │化学品防漏膜片特氟龙、316低碳　　 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│不锈钢　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│224 │加热带(金属材料、特种塑料)　　　　│Heater Line／Heater　　 │国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Trace　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│225 │加热外套(金属材料)　　　　　　　　│Heat Jacket　　　　　　 │用于气瓶加热提高蒸发量，不锈钢材料，国内没有生　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│产　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│226 │空气呼吸器系统　含有带镜架防毒面　│Breath Air System　　　 │国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│具(硅胶材料)，压缩空气气瓶(不锈　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│钢或碳纤材料)，及上述设备连接管　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│及配件(不含微机和外设)　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│227 │累计器　　　　　　　　　　　　　　│Accumulator　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│228 │冷凝器　　　　　　　　　　　　　　│Cooler　　　　　　　　　│国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│229 │铝合金电缆槽　　　　　　　　　　　│Aluminum Cable Tray　　 │外表有烤漆，防尘、防静电、防化学品腐蚀、防产生　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│微粒，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│230 │末端阀箱　　　　　　　　　　　　　│End Box　　　　　　　　 │国内产品目前无验证资料　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│231 │火焰警报器，压力表及废气排放管(　 │Gas Cabinet　　　　　　 │国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│不锈钢内涂树脂)，消防水管(不锈　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│钢)，仪表控制用气体连接管(不锈　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│钢或特氟龙管)等　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│232 │气体分配箱　内含不锈钢外壳和支架　│　　　　　　　　　　　　│国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│，气体输送分配盘及废气排放管(不　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│锈钢内涂树脂)，仪表控制用气体连　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│接管(不锈钢或特氟龙管)等　　　　　│　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│233 │钢瓶紧急泄露处理车　　　　　　　　│Emergency　Response　　 │国内没有生产　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Containment Vessels for │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Leaking Cylinders　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│234 │氧化，金属及铜工艺研磨液供应系统　│Oxide，Cu Process &　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│(不含微机和外设)　　　　　　　　　│Metal Dilution & Suply　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Unit　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│235 │化学门感应器　　　　　　　　　　　│Door Sensor　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│236 │紫外线感应器　　　　　　　　　　　│UV Sensor　　　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│237 │泄漏测量器　　　　　　　　　　　　│Leak Detector　　　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│238 │随身携带呼吸器件(SCBA空压机)　　　│　　　　　　　　　　　　│一种空气系统，国内无符合技术标准、型号产品　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│239 │超级过滤膜及外壳(高洁净高强度工程 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│塑料、超洁净不锈钢)　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│240 │超级过滤器及外壳(高洁净度、高强度 │　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│工程塑料)　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│241 │不锈钢管及连接件、抗压力指数大于　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│等于4公斤的钢管、膨胀节　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│242 │化学品过滤系统用零配件　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│243 │机械轴封(配件)　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│244 │随身携带呼吸器件(SCBA空压机)备用　│Back-Up Gas Cylinder　　│由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气　　　│
│　　│气瓶　　　　　　　　　　　　　　　│of SCBA　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│245 │化学品泄漏处理对象、器材及防护衣　│Chemical Leakage Spe-　 │处理化学品泄漏时防护及处理器材　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│cial Material　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│246 │可燃／毒性物防爆箱　　　　　　　　│Chemical Temporary　　　│储存腐蚀性及易燃液体　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Storage　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│247 │自动灭火喷淋系统(不含微机和外设)　│Sprinkler System　　　　│净化室消防灭火用，需FM认证　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│248 │消防(火灾)防护防害器材及防护衣物　│Fire Fighting Protection│消防灭火的防护衣服手套等　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Material　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│249 │全套自供式呼吸器(含碳纤气瓶)　　　│Self Container Breathing│由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Aparatus (SCBA)　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│250 │磁簧感应器、红外线对照式侦测器、　│Accass System　　　　　 │在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人　│
│　　│主机及控制器、路由器等　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│员出入　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│251 │磁力锁　　　　　　　　　　　　　　│Electric Lock　　　　　 │在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│员出入　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│252 │寻址式火警控制盘、相应模块　　　　│Addressable　Fire　Alarm│ 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Control Panel & Module　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│253 │无尘室用二氧化碳灭火器　　　　　　│CO2(下标)　　　　　　　 │消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Fire Extinguisher　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│254 │二氧化碳系统(含钢瓶，喷头，烟感　 │CO2(下标) System　　　　│消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│器，控制盘，不含微机和外设)　　　 │　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│255 │防爆型摄像头、高分辨率摄像头　　　│CCTV System　　　　　　 │监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│处理发生相关事件　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│256 │防火／防烟风门　　　　　　　　　　│Fire Stop，Fire／Smoke　│消防系统用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Damper　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│257 │感应读卡机　　　　　　　　　　　　│Proximity Card Reader　 │在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│员出入　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│258 │高压气瓶泄漏处理设备储备器材　　　│Coupresse Cylinder　　　│ 国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Leakage Treat Equipment │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│259 │画面处理单元　　　　　　　　　　　│Drawing Handle Unit　　 │监视无尘室等运行状态，作画面处理(如分隔和警　　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│报)，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件　 │
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│260 │环境安全管理监视系统[含影像接收　 │Monitoring System　　　 │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│，处理，记录系统、监控器、光纤　　│(Including Video　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│、光缆，(不含微机和外设)]　　　　 │Receiving，Processing， │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Recording System)　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│261 │回路控制单元　　　　　　　　　　　│Loop Control Unit　　　 │监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│处理发生相关事件　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│262 │回路控制器　　　　　　　　　　　　│Loops Controller　　　　│火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│263 │火警报警，(广播)系统(感应，灭火　 │Fire Alarm，Public　　　│火灾侦测报警用，需FM认证　　　　　　　　　　　　│
│　　│逃生警报单元，控制单元，不含微　　│Address System(Detection│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│机和外设)　　　　　　　　　　　　 │，Alarm Unit)　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│264 │火警矩阵主机(连动门禁、电梯、排　 │Fire System Matrix　　　│火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
│　　│烟及广播系统)　　　　　　　　　　 │Link　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│265 │极早期火警警报系统(不含微机和外设)│Very Early Smoke Dc-　　│洁净车间火灾侦测报警用，需FM认证　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│tection System　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│266 │紧急广播主控器、相应模块及附件　　│Emergency P．A．Main　　│火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Controller & Module　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│267 │紧急洗眼及冲淋器具　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│268 │警报　输入／输出(I／O)界面(用于　 │Alarm I／O　Interface　 │一种组态软件，在事故发生时通过门禁系统来掌握及　│
│　　│门禁系统)　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│控制无尘室等人员出入　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│269 │空气采样管(特种塑钢)　　　　　　　│Air Sampling Piping　　 │ABS(丙烯腈―丁二烯―苯乙烯三元共聚物)塑钢本　　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│270 │空气采样系统主机、相应模块及附件　│Air Sampling Smoke De-　│本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│tector，Main Machine　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│271 │门禁管理系统(不含微机和外设)　　　│Accexs　Control　Alarm　│有专用通讯协议，可接多个接口模块，且可管理数万　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│System　(Accessory)　　 │个持卡者，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│(Control Unit)　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│272 │泡沫灭火系统(含泡沫桶，控制盘，不 │Foam Extinguish Sys-　　│消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
│　　│含微机和外设)　　　　　　　　　　 │tem　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│273 │网络接口组件、图控压缩软件(用于火 │Network Interface　　　 │火灾探测报警用／火警广播用，国内无符合技术标准、│
│　　│灾探测报警用／火警广播)　　　　　 │Unit，Graphic Com-　　　│型号产品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│press Software　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│274 │网络界面设备及附件　　　　　　　　│Network Interface Unit　│本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│275 │视觉信号装置零备件　　　　　　　　│System Accessories　　　│火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│276 │消防组配件(洒水头，泡沫头，压扣开 │Fir Protection System　 │消防系统，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
│　　│关，蜂鸣器，阀，扳手，防震支撑…　│Accessories (Sprinkler　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│)　　　　　　　　　　　　　　　　 │Head，Foam　Head，　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Emergency Push Bot-　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│ton，Speaker…)　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│277 │信号收集单元　　　　　　　　　　　│Signal Collect Unit　　 │一种监视器，国内无符合技术标准、型号产品　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│278 │烟感及温感器　　　　　　　　　　　│Smoke Detector　　　　　│火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│279 │安全保护器具　　　　　　　　　　　│Safety Protection Equip-│由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气，需　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│ment　　　　　　　　　　│FM认证　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│280 │厂务监控系统(不含微机和外设)　　　│Facility Management &　 │整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Control System　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│281 │编程工具　　　　　　　　　　　　　│Programming Tools　　　 │用洁净室监控器作网络重新测试和故障确认，整合所　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│有厂务系统进行监控，以确保洁净室稳定生产，国内　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│282 │监控器与监控盘体(含监视器)　　　　│Controller and Control　│整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Panel　　　　　　　　　 │产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│283 │输入／输出　监控工作站(不含　　　 │I／O Control Workstation│中控室监控站，监控净化室温度、湿度、压力、流量　│
│　　│计算机)　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　│及警报，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│284 │网络设备(不含计算机)　　　　　　　│Neworking Device　　　　│工业级Etchmet Kingbus网络确保净化室监控网络的　 │
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│稳定，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　│定生产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│285 │数据库应用工具　　　　　　　　　　│Database　Application　 │整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Tools　　　　　　　　　 │产，国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│286 │专用测试系统(不含微机和外设)　　　│Special Instruments for │国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　│Clean Room　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼─────────────────┼────────────┼────────────────────────┤
│287 │静电监测系统(不含微机和外设)　　　│　　　　　　　　　　　　│国内无符合技术标准、型号产品　　　　　　　　　　│
└──┴─────────────────┴────────────┴────────────────────────┘

附件2：　　　　　　　部分集成电路生产企业免税进口集成
　　　　　　　　　　　　　电路生产设备零、配件商品目录

┌──┬────┬───────────────┬──────────────────────┬──────────────┐
│序号│设备类型│　　　英文名称(企业参考)　　 │　　　　　　　设备零、配件　　　　　　　　 │　　　零、配件税则号列　　 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 1　│化学机械│CMP　　　　　　　　　　　　　 │研磨(二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、　　 │84799090／84669300　　　　　│
│　　│研磨设备│　　　　　　　　　　　　　　　│钨研磨)设备配件(化学机械研磨机)　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 2　│　　　　│Defect Inspection／Back Order │缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)／自动缺陷　　　│90299000／90319000　　　　　│
│　　│　　　　│For RT 8800 Automatic Ret-　　│检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│icle Inspection System／Mask　│口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Particle & Pellicle Defection │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│System　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 3　│　　　　│Particle Counter　　　　　　　│颗粒计数仪配件／粒子计数器配件　　　　　　　│90299000／90309000　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 4　│　　　　│Profiler　　　　　　　　　　　│剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪)　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 5　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│表面轮廓仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 6　│　　　　│Wafer Sort　　　　　　　　　　│晶圆分类机设备配件　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 7　│扩散设备│RTA　　　　　　　　　　　　　 │快速热退火炉―热退火设备配件(快速热处理器)　│85149090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 8　│　　　　│Sheet Resistance　　　　　　　│电阻量测仪配件／层电阻测定仪配件／比电阻测　│90309000／90319000　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│定仪配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ 9　│　　　　│Surface Charge Analyzer　　　 │表面电荷分析仪配件　　　　　　　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│10　│　　　　│VF LPCVD　　　　　　　　　　　│低压化学气相沉积炉管配件　　　　　　　　　　│84859000／84799090／84799090│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│11　│　　　　│VF Poly Oxide／Anneal　　　　 │常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、　　　 │85149090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│膜生长垂直炉管)配件　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│12　│　　　　│Parts for Vertical Furnace　　│氧化机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84199090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│13　│　　　　│IPI　　　　　　　　　　　　　 │高温燃烧废气处理设备配件　　　　　　　　　　│84199090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│14　│　　　　│Vacuum Pump　　　　　　　　　 │真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件　　　　│84149090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│15　│　　　　│Tube Cleaner　　　　　　　　　│炉管清洗设备配件／炉管清洗机配件／炉芯管清　│84219990／85149090　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│16　│　　　　│Dry Scrubber　　　　　　　　　│干式清洗设备配件(清洗机)　　　　　　　　　　│84199090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│17　│　　　　│Parts Cleaner HF　　　　　　　│零件清洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84249090／84219990／85439090│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│18　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│静态老化炉配件　　　　　　　　　　　　　　　│84179090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│19　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│数字器件标准老化炉配件　　　　　　　　　　　│85149000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│20　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│单晶硅外延炉配件　　　　　　　　　　　　　　│84179090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│21　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│老化炉配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│85149000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│22　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│扩散炉配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│85149090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│23　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│聚酰胺烘陪炉配件　　　　　　　　　　　　　　│85149090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│24　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│氮气处理配件　　　　　　　　　　　　　　　　│85149090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│25　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│椭圆仪配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│26　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│扩散用工夹具清洗机／化学气相沉积用工夹具　　│85149090／84799090／84669300│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│清洗／工夹具有机清洗装置配件　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│27　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│温度控制器配件　　　　　　　　　　　　　　　│90329000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│28　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│温度分布测定机配件　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│29　│化学气相│　　　　　　　　　　　　　　　│除害装置配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
│　　│沉积／薄│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│膜设备　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│30　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│四乙氧基硅烷(TEOS)供给系统配件　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│31　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│磷浓度测定仪配件　　　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│32　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│尘埃检查仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│33　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│粒子监视系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│34　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│供气系统／气体供给系统配件　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│35　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气体精制机(氮气)配件　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│36　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│涡轮分子泵／低温泵配件　　　　　　　　　　　│84139100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│37　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│特性检查配件　　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│38　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气体泄漏监视系统配件　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│39　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气体集中供给装置配件　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│40　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│CIF3废气吸附装置配件　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│41　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│聚酰亚胺烘焙配件　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│42　│薄膜设备│FTIR　　　　　　　　　　　　　│傅力叶红外线检测仪配件(量测仪)　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│43　│　　　　│PVD　　　　　　　　　　　　　 │物理气相沉积设备(仪)配件　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│44　│　　　　│CVD　　　　　　　　　　　　　 │化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积　　　│84219990／84799090　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│学气相沉积配件　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│45　│　　　　│SMIF ARM　　　　　　　　　　　│标准机器界面设备配件(晶片上料机)　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│46　│　　　　│SMIF　　　　　　　　　　　　　│小型无尘室配件　　　　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│47　│　　　　│Parts Cleaner　　　　　　　　 │工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片　　　 │84249090／84219990　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)(清　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│洗机)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│48　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│擦片机配件／化学机械抛光擦片机配件／浅沟道　│84799090／84669100　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│隔离化学机械研磨擦片机／双面擦片机配件　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│49　│　　　　│Waste Gas Treatment(In-　　　 │工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理　　　 │85149090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│cluding　Local　Scrubber，　　│设备)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Burn Tube，Cool Trap…)　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│50　│　　　　│Stress Measurement System　　 │应力测量仪配件／应力测定仪配件　　　　　　　│90309000／90269000　　　　　│
│　　│　　　　│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│51　│　　　　│Sputter　　　　　　　　　　　 │溅射设备配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│52　│　　　　│Vapor HF　　　　　　　　　　　│气相清洁设备配件　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│53　│　　　　│XRF　　　　　　　　　　　　　 │X射线测量仪配件(X射线晶片分析仪)　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│54　│　　　　│Cu Plating　　　　　　　　　　│铜电镀机配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│55　│　　　　│Wafer Transfer System Parts　 │晶盒运输设备配件　　　　　　　　　　　　　　│84859000／84799090　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│56　│　　　　│Wafer Scrubber System Pans　　│晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清　　　　 │84219990　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│洗机)(清洗过滤机)配件　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│57　│　　　　│Liquid Delivery System Parts　│自动供液系统(输送机)配件　　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│58　│　　　　│Sheet Resistance Measure-　　 │阻抗量测仪器及配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│ment System and Parts　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│59　│　　　　│ESD TLP System　　　　　　　　│静电测试系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│60　│金属化　│　　　　　　　　　　　　　　　│溅射台配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│61　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│段差测定仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│62　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│表面反射率计配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│63　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│真空烘箱／烘箱／HT烘箱配件　　　　　　　　　│85149090／85149000　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│64　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│固化烘箱／塑封固化烘箱配件　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│65　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│喷砂机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84249090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│66　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│干燥机／版盒干燥机配件　　　　　　　　　　　│85149090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│67　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│萤光X线分析装置配件　　　　　　　　　　　　 │90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│68　│干法蚀刻│Comer Rounding　　　　　　　　│倒角设备配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│69　│　　　　│Metal／W Etchback Etch　　　　│金属／钨回蚀设备配件　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│70　│　　　　│Microscope／Wafer Loader　　　│光学显微镜／硅片承载器配件　　　　　　　　　│90119000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│71　│　　　　│Etch-Spacer　　　　　　　　　 │衬垫蚀刻设备配件　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│72　│　　　　│Opticstation　　　　　　　　　│光学检测设备配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│73　│　　　　│Etch　　　　　　　　　　　　　│蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干　　│84669300／84669300　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│74　│　　　　│Plasma Clean　　　　　　　　　│等离子体清洁设备配件　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│75　│　　　　│Resist Strip　　　　　　　　　│去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件　　　　　│84219990／84799090／84669300│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│／84669300　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│76　│　　　　│SN De-Polymer　　　　　　　　 │高分子聚合物去除设备配件　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│77　│　　　　│UV Curing-MET　　　　　　　　 │紫外线固化(金属)设备配件　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│78　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│回刻机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│79　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气体泄漏监视装置配件　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│80　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│工夹具水洗装置配件　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│81　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│工夹具干燥装置／化学气相沉积用工夹具干燥　　│85149090／84799090　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│82　│研磨设备│Backside Grinder／Polisher　　│晶片背研磨机(研磨机)配件　　　　　　　　　　│84799090／84669300　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│83　│　　　　│Backside Thickness Measure-　 │背面测厚仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│ment　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│84　│　　　　│Detape　　　　　　　　　　　　│去膜机配件／卸膜机配件　　　　　　　　　　　│84799090／84669300　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│85　│　　　　│Tape　　　　　　　　　　　　　│贴膜机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090／84669300　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│86　│离子注　│Dose Measurement　　　　　　　│剂量测量设备配件　　　　　　　　　　　　　　│90289010　　　　　　　　　　│
│　　│入设备　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│87　│　　　　│Current IMP　　　　　　　　　 │离子注入设备配件(高速流、高能量)　　　　　　│85439010　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│88　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│离子注入设备配件(中速流)　　　　　　　　　　│85439010　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│89　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│喷砂机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│90　│光罩生产│AIMS Metrology System　　　　 │空间影像模拟系统配件　　　　　　　　　　　　│90089090　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│91　│　　　　│Auto Pellicle Mounting Sys-　 │自动防尘保护膜系统配件　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│tern　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│92　│　　　　│CD Metrology System　　　　　 │微距量测系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90179000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│93　│　　　　│Coater & Hot Plate　　　　　　│镀膜机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│94　│　　　　│FIB Reticle Repair System　　 │聚焦离子束光罩修补系统配件(光罩修补系　　　 │90279000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│统)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│95　│　　　　│Film Thickness Measurement　　│薄膜厚度量测机(测量仪器)／膜厚测定仪／厚　　│90309000／90319000　　　　　│
│　　│　　　　│Tool　　　　　　　　　　　　　│度仪配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│96　│　　　　│Laser Beam Writing　　　　　　│扫描式(步进式、电子束、镭射束)曝光机　　　　│90109090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│97　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│镭射束(电子束)曝光机配件(镭射刻读机)　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│98　│　　　　│Lair Reticle Repair System　　│镭射光罩修补系统配件(光罩修补系统)　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│99　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│光罩修补系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│100 │　　　　│M&M　Visual　Inspection　　　 │目检机(包括焊线目检机、自动目检机、自　　　 │90319000／84799090　　　　　│
│　　│　　　　│Tool　　　　　　　　　　　　　│动盘装目检机、自动管装目检机)配件　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│101 │　　　　│Manual　Pellicle　Mounting　　│手动防尘保护膜系统配件　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Tool　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│102 │　　　　│Optical Chemical Processor　　│光学化学制程机配件(光掩模制程机)　　　　　　│90109090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│103 │　　　　│Overlay Metrology System　　　│标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪)　　　│90179000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│104 │　　　　│Phase Angle Measurement　　　 │相位量测系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90179000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Tool　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│105 │　　　　│Starlight Inspection System　 │微尘检验系统配件(脏污检验系统)　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│106 │　　　　│Reticle Fine-cleaning　　　　 │光罩清洗系统配件／湿式光罩清洗仪配件(水　　 │84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│System／Wet Bench　　　　　　 │洗台)／去光阻清洗系统配件　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│107 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│扫描电子测量仪配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│108 │产品工程│MOSAID EFA Tester　　　　　　 │测试机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│109 │　　　　│UV Eraser　　　　　　　　　　 │紫外线光源擦除机配件　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│110 │　　　　│Cycling Machine　　　　　　　 │重复读写测试机配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│111 │　　　　│Precision Semiconductor Pa-　 │精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│rameter Analyzer　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│112 │光刻设备│Ammonia Detector　　　　　　　│氨气检测器配件(多种气体分析仪)　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│113 │　　　　│Hot Plate　　　　　　　　　　 │热板烘干机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│114 │　　　　│In-Line DUV Scanner　　　　　 │光刻机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│90109090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│115 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│光刻机用控制器配件　　　　　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│116 │　　　　│In-Line DUV Track　　　　　　 │在线式涂布显影机配件　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│117 │　　　　│Mask Optical Microscope　　　 │显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜、　　　│90129000／90119000　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│非接触测量显微镜)配件　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│光学显微镜配件／激光显微镜／金相显微镜／X　 │　　　　　　　　　　　　　　│
│118 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│射线显微镜／高倍显微镜／共聚焦显微镜／发射　│90119000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│显微镜配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│119 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│立体显微镜配件　　　　　　　　　　　　　　　│90119000　　．　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│120 │　　　　│Overlay　　　　　　　　　　　 │套刻精度仪配件(量测仪)／套刻精度检测仪　　　│90309000／90319000　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│121 │　　　　│Coater　　　　　　　　　　　　│涂布机配件(涂胶机)／涂敷机配件　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│122 │　　　　│Developer／PR Reworker　　　　│显影机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│123 │　　　　│Reworker Dryer before Cure　　│光刻胶预处理设备配件　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│124 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│紫外线光刻胶硬化机配件　　　　　　　　　　　│90109090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│　　│　　　　│Reticle Charger／Macro Check　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│125 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│光罩检测仪配件(晶片盒开封机)　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Station　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│126 │　　　　│Starlight Mask Inspection　　 │光罩检测检查系统配件　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│System　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│127 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│版盒清洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│128 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│硅片周边曝光装置配件　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│129 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│紫外固胶机配件　　　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│130 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│紫外线处理装置配件　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│131 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│罩清洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│132 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│显影液供给系统配件　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│133 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│溶剂供给系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│134 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│氦气气瓶柜配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│135 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│掩膜板检测仪配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│136 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│扫描电镜配件　　　　　　　　　　　　　　　　│90119000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│137 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│138 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│测试工作台配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│139 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│硅片分类机／倒片机／超高压化学气相沉积倒片　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│140 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│外观检查仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│141 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│背面外观仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│142 │质量保证│SIMS　　　　　　　　　　　　　│二次离子质谱仪配件(质谱仪)／电感偶合质　　　│90279000　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│谱仪配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│143 │　　　　│Air Sampler　　　　　　　　　 │空气取样器配件(极早期空气采样系统)　　　　　│90329000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│144 │　　　　│GC／MS (Gas Chromato-graphy)　│气相色谱质谱联用分析仪配件　　　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│145 │　　　　│GFAAS　　　　　　　　　　　　 │石墨炉原子吸收光谱仪配件(原子吸收分光　　　 │90279000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│光谱仪)　　　　　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│146 │　　　　│Ion Chromatography　　　　　　│离子色谱仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│147 │　　　　│KF Titrator　　　　　　　　　 │水分滴定仪配件(水分仪)　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│148 │　　　　│Microwave Concentrator　　　　│微波浓缩装置配件　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│149 │　　　　│Auto Titrator　　　　　　　　 │自动电位滴定仪配件(自动滴定仪)　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│150 │　　　　│Viscometer　　　　　　　　　　│粘度计配件(粘度测量仪)　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│151 │　　　　│Hot Plate　　　　　　　　　　 │搅拌器配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84749000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│152 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│加热器配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│85169090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│153 │可靠性保│Auto-Decapsulation Machine　　│自动开封机配件(晶片盒开封机)　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│证设备　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│154 │　　　　│FIB　　　　　　　　　　　　　 │聚焦离子束设备配件　　　　　　　　　　　　　│85439030　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│155 │　　　　│Ion Milling　　　　　　　　　 │离子减薄机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│156 │　　　　│Micro Cleaving　　　　　　　　│裂片机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│157 │　　　　│Microsection／Polisher　　　　│抛光机配件(化学机械抛光设备)　　　　　　　　│84859000／84669100　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│158 │　　　　│Precision Saw　　　　　　　　 │精密切割仪／激光切割机配件(低速切割机)　　　│84859000／84669300　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│159 │　　　　│Reflow　　　　　　　　　　　　│回流焊设备配件　　　　　　　　　　　　　　　│84689000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│160 │　　　　│Sample Preparation-CO2(下标)　│二氧化碳气泡机配件　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│System　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│161 │　　　　│Sample　Preparation-Dicing　　│划片机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090／84779000／84649100│
│　　│　　　　│Saw　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│162 │　　　　│Sample Preparation-Die　　　　│上片机配件(粒子上片机)　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Bonder　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│163 │　　　　│Sample Preparation-Wafer　　　│粘片机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Mounter　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│164 │　　　　│Sample　Preparation-Wire　　　│焊线机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│85159000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Bonder　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│165 │　　　　│X-ray　　　　　　　　　　　　 │X射线分析仪配件(X射线晶片分析仪)　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│166 │　　　　│Failure Analysis Instrument　 │故障分析仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│167 │　　　　│Failure　Analysis　Sample　　 │失效分析样品制备系统配件　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Preparation　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│168 │　　　　│EL Grade Clean Plastic Bot-　 │超洁净塑料瓶　　　　　　　　　　　　　　　　│39269010　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│tle(PE／PP／PTFE)　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│169 │　　　　│Sterilized Sampling Tube　　　│无菌采样管　　　　　　　　　　　　　　　　　│39172900　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│170 │　　　　│Volumetric Flask(PE／PP／　　 │超洁净塑料凉瓶　　　　　　　　　　　　　　　│39269010　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│PFA／PMP)　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│171 │　　　　│Micropipette　　　　　　　　　│微量移液管　　　　　　　　　　　　　　　　　│39269010　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│172 │　　　　│DIW Sample Bag　　　　　　　　│无菌取样袋　　　　　　　　　　　　　　　　　│39239000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│173 │　　　　│Plastic Syringe　　　　　　　 │无菌塑料针管　　　　　　　　　　　　　　　　│39173900　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│174 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│分析装置配件　　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│175 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│去离子水系统配件　　　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│176 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│中央控制系统配件　　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│177 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│蒸汽回流机配件　　　　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│178 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│红外线回流系统配件　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│179 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│塑模开封机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84669100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│180 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学腐蚀装置配件　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│181 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│超声波清洗系统配件　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│182 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│超声波图机配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│183 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│热载流子分析仪配件　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│184 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│曲线跟踪仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│185 │　　　　│POD／Cassette Inspection　　　│晶盒检测仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│186 │　　　　│TXRF　　　　　　　　　　　　　│X射线荧光光谱仪配件　　　　　　　　　　　　 │90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│187 │　　　　│W．S．Wafer Scrubber-Non　　　│晶片去离子水喷射刷洗设备配件　　　　　　　　│84249090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Metal　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│188 │　　　　│Wafer Marker　　　　　　　　　│激光晶圆刻片机配件(激光刻号机)　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│189 │　　　　│Wafer RS&THK／Flat　　　　　　│晶圆片厚度／平整度测量仪配件(表面凸凹检　　 │90309000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│测仪)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│190 │　　　　│ALU　　　　　　　　　　　　　 │石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机)　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│191 │研发设备│Dynamic Signal Analyzer　　　 │动态信号分析仪配件(噪声计)　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│192 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│超声波扫描仪配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│193 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│温湿度箱／压力锅配件　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│194 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高加速应力实验箱配件　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│195 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│逻辑分析仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│196 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│晶体管曲线仪配件　　　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│197 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│静电模拟测试机配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│198 │　　　　│LCR Meter　　　　　　　　　　 │电感电阻电容测试仪配件　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│199 │　　　　│Pulse Generator　　　　　　　 │专用脉冲发生器配件　　　　　　　　　　　　　│85439029　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│200 │　　　　│Semiconductor Parameter　　　 │半导体参数分析设备配件(参数分析仪)　　　　　│90279000／85439090　　　　　│
│　　│　　　　│Analyzermanual　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│201 │　　　　│Semiconductor Parametric　　　│半导体参数测试设备(仪)配件　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Tester　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│202 │　　　　│Switch Matrix　　　　　　　　 │信号自动转接器配件　　　　　　　　　　　　　│85191090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│203 │　　　　│RF Noise Figure Instrument　　│高频噪声系数分析仪配件　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│204 │　　　　│ICCAP RF Measurement　　　　　│高频测试系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│System　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│205 │　　　　│Curve Tracer　　　　　　　　　│信号轨迹追踪器配件　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│206 │　　　　│ESD TLP System　　　　　　　　│静电放电测试系统配件　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│207 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│图像处理器配件　　　　　　　　　　　　　　　│84719000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│208 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│绘图机配件　　．　　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│209 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│热波测试仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90279090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│210 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高低温分析仪配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│211 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│微探针台配件　　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│212 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│电子束探针／热探针仪／自动多探针配件　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│213 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│验证测试系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│214 │测试设备│Laser Repair　　　　　　　　　│激光修复仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│215 │　　　　│Logic Tester　　　　　　　　　│元件电参数测试设备配件　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│216 │　　　　│Prober Card Check　　　　　　 │探针卡检测仪配件(探针测试仪)　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│217 │　　　　│Prober　　　　　　　　　　　　│探针台(手动、半自动、自动、微探针台)　　　　│84799090／90319000　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│218 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│探针卡　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│219 │　　　　│Wafer Bake Oven Fittings　　　│烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、　　　 │85149090／84199090　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉)配件　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│220 │　　　　│Logic Tester Fittings　　　　 │逻辑测试机配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│221 │　　　　│Memory Tester Fittings　　　　│记忆体测试机配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│222 │　　　　│Wafer Loader　　　　　　　　　│晶圆装载机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│223 │　　　　│Tester Equipment PC Tool　　　│测试设备电脑工具配件　　　　　　　　　　　　│84719000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Fittings　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│224 │　　　　│Probe Card Making Equip-　　　│探针卡制作设备配件　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│ment Fittings　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│225 │　　　　│Ultra Sonic Container Fit-　　│超音波震荡器配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│tings　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│226 │　　　　│Tester Electronic Meter Fit-　│测试仪计量设备配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│tings　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│227 │　　　　│Mother-Plate　Fitting　for　　│测试仪专用工夹具及配件　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Tester　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│228 │　　　　│Microscope Guard Against　　　│显微镜防震工作台配件　　　　　　　　　　　　│90119000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Earthquakes Fittings　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│229 │　　　　│Thermometer & Humidome-　　　 │温湿度测试仪配件　　　　　　　　　　　　　　│90259000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│ter Fittings　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│230 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│231 │　　　　│Logic Analyzer Fitting　　　　│逻辑分析仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90279000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│232 │　　　　│Precise Oscillator Fittings　 │精密示波器配件(示波器)　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│233 │　　　　│Wafer Burn-in Tester Fit-　　 │炙烧测试机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│tings　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│234 │　　　　│Dynamic Wafer Burn-in Bake　　│动态老化晶圆烤箱配件　　　　　　　　　　　　│84199090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Oven Fittings　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│235 │　　　　│Mixed Signal Tester Fittings　│混合型测试机配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│236 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│数字测试系统配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│237 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│混合信号测试系统配件　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│238 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│密封机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│239 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│外观检查仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│240 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│切片机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84669100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│241 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│粉尘收集器配件　　　　　　　　　　　　　　　│84213990．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│242 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│尘埃测定器配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│243 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│热电子分析仪配件　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│244 │湿法刻蚀│W．S．Cleaner　　　　　　　　 │湿法清洗设备配件　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│245 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│晶片再生处理机配件　　　　　　　　　　　　　│84569990．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│　　│　　　　│Wafer Transfer／Transfer，　　│晶片传送器配件(晶片传送机)　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
│246 │　　　　│Horizontal，Wafer，Auto-　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│matic　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│247 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│超声清洗机／酸清洗机／超声清洗机／片盒清洗　│84669300　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│干燥机／剥膜清洗机／自动腐蚀清洗机／片架清　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│248 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│氧化膜腐蚀配件　　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│249 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│氮化硅腐蚀配件　　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│250 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│磷玻璃层去除设备配件　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│251 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学机械抛光清洗机配件　　　　　　　　　　　│84669100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│252 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│浆料供给装置配件　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│253 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│光刻胶剥离配件　　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│254 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│减薄机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84669100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│255 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学机械研磨用纯水加压装置配件　　　　　　　│84669100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│256 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│半球形玻璃(HSG)前处理装置配件　　　　　　　 │84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│257 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│寿命测试仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│258 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│片架检查仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│259 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│淀积物去除装置配件　　　　　　　　　　　　　│84669100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│260 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│栅氧化前处理配件　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│261 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│荧光X射线分析装置配件　　　　　　　　　　　 │90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│262 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学机械研磨用残膜测定仪配件　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│263 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│前处理装置配件　　　　　　　　　　　　　　　│84669300　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│264 │搬送　　│　　　　　　　　　　　　　　　│工程间搬送设备配件　　　　　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│265 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│工程间有轨／无轨搬送设备配件　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│266 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│掩模版库配件　　　　　　　　　　　　　　　　│90330000．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│267 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│机器人配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│268 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│精选机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│269 │封装　　│　　　　　　　　　　　　　　　│贴片机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│270 │后工序封│　　　　　　　　　　　　　　　│等离子清洗机配件　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│装设备　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│271 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│晶片粘贴机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│272 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│金线拉力检测机配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│273 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│自动生产线线体配件　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│274 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│二氧化碳充气机配件　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│275 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│印字机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84439000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│276 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│切筋成型机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84669400　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│277 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│X光机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　 │90229090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│278 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│植球机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│279 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│清洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│280 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│推球测试机配件　　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│281 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│内脚焊接配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84689000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│282 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│封胶机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│283 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│抓料机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│284 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│电镀机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│285 │后工序测│　　　　　　　　　　　　　　　│自动分检机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
│　　│试设备　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│286 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│卷带包装机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│287 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│老化板测试机配件　　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│288 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│自动上下料分检机配件　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│289 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│紫外线擦除机配件　　　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│290 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│电源及其配件　　　　　　　　　　　　　　　　│85049020　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│291 │实验分析│　　　　　　　　　　　　　　　│温湿度箱／压力锅配件　　　　　　　　　　　　│85439090　　　　　　　　　　│
│　　│校准设备│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│292 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高加速应力实验箱配件　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│293 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│回流焊机配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│294 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│温度循环测试机配件　　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│295 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│纯水加压机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│296 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│装片机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│297 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│键合机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│298 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│键合检查仪配件　　　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│299 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│塑封压机／塑封机配件　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│300 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│塑封模配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│301 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│切筋打弯机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│302 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│存储器测试系统配件　　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│303 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│分选机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│304 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│管脚检查系统配件　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│305 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│插拔机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│306 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│老化测试板检查仪配件　　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│307 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│托盘处理机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84779000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│308 │生产管理│　　　　　　　　　　　　　　　│主系统服务器配件　　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
│　　│自动控制│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│系统　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│309 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│生产管理系统配件　　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│310 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│管理系统服务器配件　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│311 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│自动装载系统配件　　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│312 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│生产控制系统H／W配件　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│313 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│后道生产控制系统服务器配件　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│314 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│抄送邮件服务器配件　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│315 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│网络设备(FA，OA)配件　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│316 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│网络测试系统配件　　　　　　　　　　　　　　│84733090．90　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│317 │芯片出货│Wafer Vacuum Packing Ma-　　　│各类芯片专用真空包装机配件／真空包装机配　　│84229090／84779000／84799090│
│　　│检测设备│chine　　　　　　　　　　　　 │件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│318 │　　　　│OM Digital Printer　　　　　　│显微镜数码打印机配件　　　　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│319 │　　　　│OM 3CCD RGB Calmera　　　　　 │(带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件　　　　│90069199　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│320 │　　　　│Bar Code Printer　　　　　　　│工业用条形码打印机配件　　　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│321 │　　　　│VLSI Standard Wafer　　　　　 │各类校准用标准晶片配件　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│322 │　　　　│TRH Meter，Anemometer，　　　 │各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器　　　│90269000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│TRH Recorder　　　　　　　　　│配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│323 │　　　　│Lockreel　　　　　　　　　　　│塑料带轮配件　　　　　　　　　　　　　　　　│39269090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│324 │　　　　│Tip，Wand，Vaccum　　　　　　 │硅片(晶片)吸附头　　　　　　　　　　　　　　│39269010　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│　　│　　　　│Vaccum Pick-Up Pencil With　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│325 │　　　　│Head　　　　　　　　　　　　　│真空吸笔及吸头　　　　　　　　　　　　　　　│40161010　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│326 │　　　　│Cabiliary　　　　　　　　　　 │瓷嘴配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　│69149000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│327 │　　　　│Diamond Cut-off Wheel　　　　 │切割轮(金刚砂)配件　　　　　　　　　　　　　│68042100　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│328 │　　　　│Diamond Blade　　　　　　　　 │切割刀配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│82089000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│329 │　　　　│Reject Pin　　　　　　　　　　│顶起针配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│73199000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│330 │　　　　│Magazine／Frame　　　　　　　 │弹匣／芯片承载环配件　　　　　　　　　　　　│73261910　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│331 │　　　　│Tweezer，Wafer　　　　　　　　│晶片镊　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│82032000／73269010　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│332 │　　　　│Print Cartridge　　　　　　　 │喷塑匣配件　　　　　　　　　　　　　　　　　│84719000　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│333 │　　　　│HPC Sampler Red 25／PK　　　　│去离子水细菌测量抽样仪配件　　　　　　　　　│90318090　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│334 │电学计量│Digital Multimeter Calibrator │数字多用表校准标准器配件　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│校准检定│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│335 │　　　　│Precision Oscilloscope Cali-　│示波器精密校准器配件　　　　　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│brator Parts　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│336 │　　　　│AC／DC Voltage and Current　　│交直流电压、电流标准装置配件　　　　　　　　│90309000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Calibrator Parts　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│337 │　　　　│Resistance Standard Calibra-　│电组标准检定装置配件　　　　　　　　　　　　│85389000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│tot Parts　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│338 │　　　　│Multiple Channel Power Cal-　 │多功能标准源装置配件　　　　　　　　　　　　│85049090　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│ibrator Parts　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│339 │　　　　│Signal Generator Calibrator　 │信号发生器检定装置配件　　　　　　　　　　　│90319000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│340 │力学计量│Pressure　Gauge　Calibrator　 │压力表检定装置配件　　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
│　　│校准检定│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│341 │　　　　│Liquid／Gas Flow Meter Cali-　│流量计标准装置配件　　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│brator Parts　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│342 │　　　　│Velocity Meter Calibrator　　 │转速表检定装置配件　　　　　　　　　　　　　│90269000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│343 │热工计量│Thermocouple Calibrator　　　 │热电偶检定标准装置配件　　　　　　　　　　　│90329000　　　　　　　　　　│
│　　│校准检定│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│设备　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│344 │　　　　│Temperature Calibrator Parts　│温度校准器配件　　　　　　　　　　　　　　　│90329000　　　　　　　　　　│
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│345 │　　　　│Heater Furnace Calibrator　　 │温度炉标准配件　　　　　　　　　　　　　　　│90329000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│346 │　　　　│Control Equipment & Spare　　 │控制装置配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84859000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Parts　　　　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│347 │　　　　│Ultra-Violet Equipment &　　　│紫外线杀菌灯配件　　　　　　　　　　　　　　│85399000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│Spare parts　　　　　　　　　 │　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│348 │纯水，排│　　　　　　　　　　　　　　　│化学品供应系统配件　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│水与药品│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│供给回收│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│系统　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│349 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学品混合机配件　　　　　　　　　　　　　　│84799090　　　　　　　　　　│
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│350 │电气系统│　　　　　　　　　　　　　　　│六氟化硫组合电器柜配件　　　　　　　　　　　│85489000　　　　　　　　　　│
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│351 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│10kV真空断路器配件　　　　　　　　　　　　　│85489000　　　　　　　　　　│
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│352 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│电力数据采集监控系统配件　　　　　　　　　　│85489000　　　　　　　　　　│
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│353 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高电压绝缘开关柜／高电压真空开关柜／不间断　│85389000　　　　　　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│电源用高电压开关柜／高电压开关柜配件　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│354 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高电压主变压器／站用干式变压器／不间断电源　│85030090／85049019　　　　　│
│　　│　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│用干式变压器／不间断电源用旁路变压器配件　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│355 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│电力电容成套装置配件　　　　　　　　　　　　│85389000　　　　　　　　　　│
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│356 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│综合保护装置配件　　　　　　　　　　　　　　│85389000　　　　　　　　　　│
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│357 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高电压电压监视系统配件　　　　　　　　　　　│85389000　　　　　　　　　　│
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│358 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│ATS电源转换装置配件　　　　　　　　　　　　 │85049019　　　　　　　　　　│
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│359 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│发电机并车装置配件　　　　　　　　　　　　　│85030090　　　　　　　　　　│
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│360 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│中央监控站设备配件　　　　　　　　　　　　　│85389000　　　　　　　　　　│
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│361 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│冷冻机组配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84189999　　　　　　　　　　│
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│362 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高效风车过滤单元配件　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
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│363 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│高效率过滤器配件　　　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
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│364 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│静电消除装置配件　　　　　　　　　　　　　　│90329000　　　　　　　　　　│
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│365 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│温湿度监控系统配件　　　　　　　　　　　　　│85319090　　　　　　　　　　│
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│366 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│真空扫除机配件　　　　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
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│367 │气体系统│　　　　　　　　　　　　　　　│气体品质监控系统配件　　　　　　　　　　　　│85319090　　　　　　　　　　│
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│368 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气瓶柜输送系统配件　　　　　　　　　　　　　│84313900　　　　　　　　　　│
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│369 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气体纯化器系统配件／气体纯化装置配件　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
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│370 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│气体溅楼漏侦测系统配件　　　　　　　　　　　│85319090　　　　　　　　　　│
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│371 │化学品过│　　　　　　　　　　　　　　　│控制装置配件　　　　　　　　　　　　　　　　│84733090　　　　　　　　　　│
│　　│滤及供应│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
│　　│系统　　│　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　　│
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│372 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│管道阀及其配件　　　　　　　　　　　　　　　│84819010　　　　　　　　　　│
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│373 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│过滤器滤芯及其配件　　　　　　　　　　　　　│84219990　　　　　　　　　　│
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│374 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学品储存桶槽及其配件　　　　　　　　　　　│39269010　　　　　　　　　　│
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│375 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│化学品成分及浓度测量装置及其配件　　　　　　│90289090　　　　　　　　　　│
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│376 │　　　　│　　　　　　　　　　　　　　　│重量测量装置及其配件　　　　　　　　　　　　│84239000　　　　　　　　　　│
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