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8479.8990

器件钝化系统气柜

    器件钝化系统气柜是对气瓶的超纯特种气体进行调节和控制，通过气源降压、过滤、控制、吹洗等处理，输出反应气体和氮气（N₂）到钝化设备和其他使用同类超纯气体的设备。
    气柜的组成包括几路气体的超纯管道，过滤器，调压阀，压力显示，吹洗真空发生器，气体传感器，喷淋装置，供气、排气、吹洗等功能转换的阀等。
    气柜在供气状态时，气体通过过滤器、调压阀、控制阀输出满足要求的低压超纯气，气体传感器和截止阀分别提供泄漏报警和漏气关闭保护。停止用气或更换气瓶后，气柜需工作在吹洗状态，在真空发生器和控制下，对气路进行反复的抽真空和吹超纯氮气操作，使气路保持到超纯状态。排气和排放系统保持所有工作状态下满足排气安全和环保要求。

    器件钝化系统气柜由超纯管道，过滤器，调压阀，压力显示，吹洗真空发生器，气体传感器，喷淋装置，阀门等部分组成（不带气体钢瓶）。该气柜主要用于对特种气体进行调节和控制，即对气源进行降压、过滤、控制、吹洗等处理，处理后的超纯气体直接输出到使用该气体的设备。
    该商品主要用于特种气体进行调节和控制的设备，应作为未列名的具有独立功能的商品归入税则号列8479.8990。

Z2006-0685

2006年11月22日